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    真空镀膜机有哪些泵,分别启到什么作用

    2020-07-25

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           一般对真空镀膜机了解不是很专业的人员,一般都不知道真空镀膜机部件其实还包含三个泵,更不知道,这些泵都启到了什么作用,今天汇成真空小编带大家认识一下真空镀膜机各个泵,并了解它在镀膜机里面启到的作用。 真空镀膜机三个泵分别分为:机械泵(一般是油旋转泵),增压泵又叫罗茨泵,高真空泵(扩散泵或者分子泵)。

           第一个是机械泵,从大气开始工作的,机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔堵塞,无法吸气和排气,一般,在油位在线下0.5厘米即可。


    真空镀膜机 


             第二是增压泵,它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵。
     
             第三个是油扩散泵,机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。油扩散泵应用压强范围是10-1帕-10-7帕,它是利用气体的扩散现象来排气的,它具有结构简单,操作方便,抽速大(最高可以达到105升/秒)等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成,里面主要添加扩散泵油(日本的型号是D-704#),根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。
     
             当扩散泵的油被电炉加热时,产生的油蒸汽提供前置压强,机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时,产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可喷出一段距离,构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁,凝结为液体,流回蒸发器,即靠油的蒸发——喷射——凝结,重复循环来实现抽气的。
     
             真空镀膜机三个泵是把控着镀膜的整个环节,是不可或缺的,各自都启着至关重要的作用,少了哪一个泵,镀膜环节都无法完成。对于想要从事这方面工作的人员,可以多了解一些这方面相关的知识,对以后从业是非常有帮助的。
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