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    真空镀膜设备出现漏气,该如何解决?

    2020-08-11

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           真空镀膜设备出现漏气的情况,从事真空行业的工作人员,都是有接触到。真空镀膜设备漏气,会后续对镀膜会引发各种各样的问题产生,比如不良产品率过高,膜厚不均匀等问题,因此当设备出现漏气的情况,很多镀膜厂家都是非常的重视,以及及时找原因处理。下面汇成真空小编为大家介绍一下如何解决设备出现漏气的问题。


    真空镀膜设备



           1、首先就要测试好真空室的气体密封性能,确保气密性能符合要求。
           2、检查漏孔大小、形状、位置以及漏气速度,制备出可解决方案并实施。
           3、要确认漏气是真漏还是虚漏,因为工件材料加热之后会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。
           4、确定检测仪器最小可捡漏率和捡漏的灵敏性,以最大范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。
           5、把握检漏仪器反应和消除时间,将时间把握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。
           6、还要避免漏孔堵塞,有的时候因为操作失误,真空镀膜机在检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。

           真空镀膜设备出现漏气问题,每位工作人员可能都有自己的方法和小妙招,但是大部分处理方法,应该都类似,不过只要结果是一样的,最终能不影响镀膜过程和质量就行。
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