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    真空镀膜机镀膜中常见的几种离子源

    2020-06-23

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           真空镀膜机镀膜中常见有哪几种离子源龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录?很多人对这方面不是特别的了解,特别是行外人龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录,更是了解的少之又少龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录,下面汇成真空小编为大家介绍一下,希望能帮助到大家:

    离子真空镀膜机


           真空镀膜机离子源类型虽多,目的却无非在线清洗,改善被镀表面能量分布和调制增加反应气体能量。离子源可以大大改善膜与基体的结合强度,同时膜本身的硬度与耐磨耐蚀特性也会改善。若是镀工具耐磨层,一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高,可采用离子电流较大能级也较高的离子源,如霍尔离子源或阳极层离子源。
            阳极层离子源,与霍尔离子源原理近似。在一条环形(长方形或圆形)窄缝中施加强磁场,在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长,特别适合镀大工件,如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散,且能级分布太宽龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录。一般适用于大型工件,玻璃,磨损,装饰工件。但应用于高级光学镀膜并不太多。
            考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体,让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录。这种离子源产生的离子方向性强龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录,离子能量带宽集中,可广泛应用于真空镀膜中龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录。缺点是阴极(往往是钨丝)在反应气体中很快就烧掉了,另外就是离子流量有极限,对需要大离子流量的用户可能不适和。
            霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。
            以上是真空镀膜机镀膜常见的三种离子源,也是目前市场运用最普及的龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录,这三种离子源各有各的优势和特点龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录,运用的地方也是有差别,镀的产品不一样龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录,使用的离子源类型也是不一样的。
     
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