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    真空镀膜机真空管路抽空前的准备及真空管件抽空工艺简介

    2020-12-05

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           真空镀膜机真空管路抽空前准备和管件抽空介绍,是真空镀膜机镀膜前期的流程,工件需要镀膜,前期是要经过清洗环节,如果客户选择镀膜工艺清洗环节在真空镀膜机里面进行的话,那么真空管路抽空,就是真空镀膜机镀膜最初的环节了。很多人对真空管路抽空前的准备及真空管件抽空工艺简介是非常感兴趣的,今天汇成真空小编为大家详细介绍一下:


    真空镀膜机


           ICrl8NigTi作为抽空工艺管路的材料,它也与被抽管路所用材料相同,此种材料的不锈钢具有出气量小、良好的可焊性和钎焊性,化学性能稳定。抽空设备中所用到的管架(或称平台),要保证工作状态的稳固和稳定性。
           抽空的前期准备:
          (1)主泵机组、检漏机组由专业人员调试合格;
          (2)准备置换用氦气、高纯氮;
          (3)准备循环水(冷却水);
          (4)准备动力电及电缆;
          (5)准备抽空、检漏用辅助用品,主要包括标准漏孔、检漏仪、真空脂、真空封泥、喷枪、气囊等。标准漏孔、规管应符合测量要求;
          (6)安装抽空工艺管,并与主泵机组及检漏仪连接,安装时螺栓均匀用力,对称拧紧,保证密封可靠;
          (7)安装支承被抽管件的管架或平台;
          (8)安装真空规管及真空计;

           真空镀膜机真空管件抽空工艺简介现就1995年和1999年“重新抽真空”与2002年“降低压强回升、部分恢复真空度”两种不同抽空情况分别介绍如下。
           重新抽真空工艺简介
           被抽管件上架:对中安装工艺抽空阀,位置应合适,并对此处进行检漏,采用氦喷吹法,由喷枪喷吹的位置确定漏孔的位置,对有疑点处采用盒罩法检漏。合格后关闭工艺抽空管通往检漏仪之间的阀门。关闭工艺阀,稳定2min后,记录此时工装管真空压强,记为pl;再分别打开各组封口阀,稳压1min后,记录此时夹层与工装管真空压强,记为pZ。管件夹层容积,一工装管容积,对工装及管件夹层充姚气,进行抽空前的氮气置换。
           真空镀膜机安装加热测温装置:每组中间管件外壁安置测温传感器,底部均匀安置加热板若干块,外部罩石棉被保温隔热,并密封加热腔,管件加热温度控制在120oC一150oC,封口阀处的温度不高于60“C(有冷却水循环),并做好记录。管件加热:连接封口阀冷却水、通水,并对产品管件进行加温,温度升至规定值后,保温48h??肿颖没榱檎婵?,每隔lh记录机组及管件真空压强。
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