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    电弧离子真空镀膜机镀TiCN膜

    2021-01-22

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           真空镀膜机用电弧离子镀的方法为黄铜电镀亮铬或镍手表壳镀制TiCN膜。
           真空镀膜机采用小弧源镀膜机和脉冲偏压电源;
           (1)工件清洗、上架、入炉  工件在入炉之前要经过超声波清洗、酸洗和漂洗三道工序。

           首先是在超声波清洗槽中放入按使用要求配制的金属清洗剂,利用超声波进行脱脂、清洗。清洗之后,进行酸洗,它可以中和超声波清洗时残余的碱液,还能起到活化处理的作用。然后进行漂洗以彻底除去酸液,漂洗时必须采用去离子纯净水或蒸馏水。经过三洗后,即时进行烘干,温度一般控制在100℃左右,时间为1h左右。也可以风吹干后马上人炉。


    真空镀膜机


           (2)真空镀膜机镀膜前的准备工作
           ①清洁真空镀膜机镀膜室。用吸尘器将真空镀膜设备镀膜室清洁一遍。当经过多次镀膜时,真空镀膜室的内衬板还需作定期清洗,一般是半个月清洗一次。
           ②检查电弧蒸发源。工作前,要确保真空镀膜机电弧蒸发源发源安装正确,绝缘良好,引弧针控制灵活,程合适,恰好能触及阴极表面。
           ③检查工件架的绝缘情况。真空镀膜机工件架与地之间的绝缘必须须良好,负偏压电源与工件架的接触点点必须接触良好。
           以上几项工作确保没有问题后,才可以关闭真空镀膜设备镀膜室的门,进行抽气和镀膜。
           镀膜
           ①镀钛  真空度:通人高纯度氩气,真空度保持在2 x 10-2Pa。脉冲偏压:200~300V,占空比50 %。电弧电流:60~80A,引燃全部弧源,时间2~3min.
           ②镀TiCN  真空度:通人高纯度氮气使真空度保持在(3~8) x 10-1Pa,然后再逐渐加大C2H2气体,随着C2H2气体量增大,色泽由金黄一赤金黄一玫瑰金一黑色变化??刂芅2与C2 H2两种气体的比例可以达到预定的色度。
           电弧电流:50~70A。脉冲偏压:100~150V,占空比60 %~80 %。沉积温度:200℃左右。间:10~20min,膜层厚度0.2~0.5μm。
           冷却  真空镀膜机镀膜工序结束后,首先关闭电弧电源和偏压电源,然后关闭气源、停转架。工件在真空镀膜设备镀膜室内冷却至80~100℃时,向真空镀膜机镀膜室内充大气,取出工件。
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