"

龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录拥有全球最顶尖的原生APP,每天为您提供千场精彩体育赛事,龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录更有真人、彩票、电子老虎机、真人电子竞技游戏等多种娱乐方式选择,龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录让您尽享娱乐、赛事投注等,且无后顾之忧!

  • "

    半导体级

    磁控溅射

    光学镀膜机

    Semicon-grade Magnetron Sputtering Optical Coating Machine
    真空应用解决方案提供商
    首页 > 光学设备 > 半导体级溅射光学镀膜机
    Semicon-grade Magnetron Sputtering Optical Coating Machine 半导体级溅射光学镀膜机

    设备??榛杓?,可结合等离子清洗(Plasma-clean)单元,磁控溅射(SPT)单元,等离子增强化学反应(PECVD)单元,原子层沉积(ALD)单元,以及等离子化学反应刻蚀(RIE)单元,拓展成簇式微纳加工中心,涵盖半导体微纳结构加工的基材清洗、薄膜沉积(含超薄薄膜)和图案化刻蚀整套工序。满足严格的薄膜沉积均匀性规格,最大程度减少了高应力薄膜缺陷,提高产量而降低成本。 

    采用ICP辅助磁控溅射的光学 膜层低吸收和低应力,加工各类带通膜和截止膜,如人脸识别(Face Id),中远红外高透膜;磁控溅射各类金属Cu,Al,Cr,Au,Ag,SUS等,工艺开发改善深孔镀膜,镀膜层具有优异的台阶覆盖性能,应用于MEMS芯片封装。

    Product Advantage.

    产品优势
    HCMS系列半导体级磁控溅射光学镀膜机包括以下关键功能:
    • 有效

      基于PC的有效自动系统控制,用于涂层过程

    • 优异

      优异的均匀性和最高的生产良率

    • 精准

      精确监控膜厚

    • 高效

      出色的溅镀技术和很强的量产能力

    • 专利

      汇成自主研发离子源

    • 简单

      易于操作和维护

    特点:

    兼容4~12英寸的自动化基材传输系统
    清洁环境沉积薄膜点缺陷少 
    沉积工艺稳定,薄膜具有高重复性
    工艺过程中实时基于基材直接监控
    快速换靶,维护保养便捷

    特点:

    先进过程控制技术APCS:光学监控、原位温度以及薄膜应力实时测量
    SPT单元直流/直流脉冲溅射金属膜用于晶圆封装,中频/射频反应溅射氧化物/氮化物膜用于高精密光学器件ALD单元沉积超薄薄膜用于半导体器件的阻隔层
    RIE单元借助光刻胶图案化刻蚀薄膜形成微电路
    您想要了解更多吗?

    电话:13316689188

    邮箱:office@hcvac.com

    龙8官网long8bet_long8 vip网页版_龙8代理客户端登录