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    HCEE系列

    电子束蒸发

    大型光学镀膜机

    LARGE E-BEAM OPTICAL COATING MACHINE
    真空应用解决方案提供商
    首页 > 光学设备 > 大型电子束蒸发光学镀膜机
    LARGE ELECTRON BEAM OPTICAL COATING EQUIPMENT 大型电子束蒸发光学镀膜机

          配备电子枪、穴型、腰型或环形坩埚,阻抗式蒸发源;配置光学膜厚控制仪或石英晶体膜厚控制仪,可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;可选射频RF/考夫曼型/霍尔型离子源。

          该系列的开发是为了满足面向大规模生产的市场需求,设备经过生产验证,高生产率,最低的拥有成本大批量光学元件成本优化生产??芍票窤R、UV/IR截止滤光片、AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等。

    AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
    ■  420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
    ■  双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

    AS/AF膜测试标准:
    ■   初始接触角范围为 115±5°;
    ■   钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
    ■   橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
    备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。

    Product Advantage.

    产品优势
    HCEE系列大型电子束蒸发镀膜机包括以下关键功能:
    • 高产量

      满足规模生产的市场需求

    • 客制化

      满足客户需求的多种元件组合

    • 简单

      易于操作和维护

    • 通用

      高性能、高通用性

    • 自动化

      自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

    • 远程访问

      提供工厂远程诊断

    规格
    型号 HCEE-2700
    腔体尺寸 Φ2700 x H1850
    结构 立式前开门,SUS304不锈钢?
    性能
    转速 10~30RPM(可变)
    抽速 大气压至2.0×10-3Pa≤30min
    极限真空度 1.0×10-4Pa
    膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
    主要配置
    夹具系统 中心上旋转伞架,单体或分体
    加热系统 卤素灯 / 铠装加热器,最高250℃
    排气系统 低真空泵组 + 高真空泵组 + Polycold
    真空控制系统 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
    镀膜系统 电子枪,穴型、腰型或环形坩埚,阻抗式蒸发源,射频/考夫曼型/霍尔型离子源
    充气系统 MFC或APC自动压强控制仪
    膜厚控制仪 晶控或光控
    控制系统? PC+PLC
    应用
    光学薄膜应用 AR、AS/AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、HR膜等
    适用波长 380nm~780nm
    注:可客制化(数据仅供参考)
    规格
    型号 HCEE-2350
    腔体尺寸 Φ2350 x H1510
    结构 立式前开门,SUS304不锈钢
    性能
    转速 10~30RPM(可变)
    抽速 大气压至2.0×10-3Pa≤30min
    极限真空度 1.0×10-4Pa
    膜料 TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
    主要配置
    夹具系统 中心上旋转伞架,单体或分体
    加热系统 卤素灯 / 铠装加热器,最高250℃
    排气系统 低真空泵组 + 高真空泵组 + Polycold
    真空控制系统 真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
    镀膜系统 电子枪,穴型、腰型或环形坩埚,阻抗式蒸发源,射频/考夫曼型/霍尔型离子源
    充气系统 MFC或APC自动压强控制仪
    膜厚控制仪 晶控或光控
    控制系统 PC+PLC
    应用
    光学薄膜应用 AR、AS/AF、硬质膜、装饰膜、ITO膜 、HR膜等
    适用波长 380nm~780nm
    注:可客制化(数据仅供参考)
    您想要了解更多吗?

    电话:13316689188

    邮箱:office@hcvac.com

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